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证券之星音问官网，凭据企查查数据涌现中微公司（688012）新赢得一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件、等离子体响应安装和涂层造成范例”，专利恳求号为CN202010777043.6，授权日为2024年6月7日。

专利摘抄：本发明触及半导体加工期间领域，具体公开了一种半导体零部件，包括半导体零部件试验，其内确立有冷却通谈，何况冷却通谈的内侧壁具有抗腐蚀涂层。本发明提供的半导体零部件中的冷却管谈内侧壁名义具有抗腐蚀涂层，这种涂层报复冷却液和冷却管谈，从而幸免冷却管谈被冷却液中的稠浊物腐蚀，何况选定的高分子涂层具有名义能低和兼具疏水疏油性的优点，大要缩短冷却剂高速流动时与铝合金冷却管谈战斗界面的产生静电的风险，从而幸免了电化学腐蚀。还提供了等离子体响应安装，安装中的半导体零部件中的冷却管谈具有抗腐蚀涂层，大要防范冷却液管谈被冷却液腐蚀。终末提供了抗腐蚀涂层的造成范例，该范例工艺毛糙，易于施行，资本低。

本年以来中微公司新赢得专利授权72个，较旧年同时加多了5.88%。集中公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面插足了8.17亿元，同比增34.91%。

数据源泉：企查查

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半导体中微公司冷却液零部件涂层发布于：上海市